Mehanička booster pumpa ultra visokog vakuuma
Ultravisoki vakuum (UHV) mehaničke pumpe za povišenje tlaka (Roots pumpe za povišenje tlaka) povećavaju protok plina u vakuumskim sustavima niskog{0}}tlaka gdje je potreban visok kapacitet pumpanja i brzo vrijeme-zastoja pumpe.
Radeći uz kompatibilnu pomoćnu pumpu (kao što je suha vakuumska pumpa ili pumpa s rotirajućim lopaticama), pojačivač koristi mehaničko djelovanje pozitivnog-pomaka za prijenos plina sa strane komore na pomoćni stupanj. Ovo značajno povećava učinkovitu brzinu pumpanja u srednjem do ultra{2}}visokom vakuumskom rasponu.
Tehničke specifikacije
|
Parametar |
Specifikacija / Zahtjevi za odabir |
Inženjerska razmatranja |
|
Vrsta proizvoda |
UHV mehanička pumpa za povišenje tlaka (Rootsov princip) |
Pojačalo-velike-propusnosti pozitivne zapremine |
|
Standardi za prirubnice |
ISO-K / ISO-F, CF prirubnice ili prilagođene |
Odabrano na temelju vodljivosti i integriteta UHV brtve |
|
Raspon brzine pumpanja |
Ovisno- o modelu (pogledajte krivulje performansi) |
Mora se izračunati zajedno s vodljivošću vodova sustava |
|
Radni tlak |
Srednji vakuum do ultra visoki vakuum (UHV) |
Upravlja se potpunim nizom pumpanja i ispuštanjem plinova iz komore |
|
Usklađivanje potporne pumpe |
Suha pumpa, rotirajuća lopatica ili rotirajući klip |
Kapacitet podupiranja mora odgovarati protoku potisnog pražnjenja |
|
Maksimalni diferencijalni tlak |
Specifično dopušteno ograničenje tlaka- za model (Delta P max) |
Sprječava toplinsko preopterećenje i mehaničko naprezanje |
|
Vakuum-bočni materijali |
Nehrđajući čelik, tretirane legure, posebni premazi |
Niska stopa ispuštanja plinova i kemijska otpornost |
|
Konfiguracija brtvljenja |
Elastomer (FKM/FFKM) ili metalne brtve (CF) |
Odabrano na temelju brzine curenja helija i ograničenja pečenja |
|
Brzina curenja helija |
Do 1 x 10^-10 mbar L/s |
Provjereno putem detektora curenja masenog spektrometra |
Vodič za odabir i integraciju
Kako biste odabrali ispravnu Roots pumpu za povišenje tlaka i osigurali glatku integraciju u vaš vakuumski sustav, procijenite sljedeće radne točke:
Brzina pumpanja i ciljni tlak:Izračunajte potrebnu efektivnu brzinu pumpanja na ulazu u komoru, uzimajući u obzir vodljivost cijevi.
Punjenje plina i procesni medij:Identificirajte sastav procesnog plina, korozivna svojstva, čestice prašine i stope ispuštanja plinova iz materijala.
Kompatibilnost pomoćne pumpe:Osigurajte da potporna pumpa upravlja volumenom ispuštanja bez prekoračenja najvećeg dopuštenog diferencijalnog tlaka (Delta P max).
Toplinska i sustavna blokada:Konfigurirajte tlačne sklopke, pogone s promjenjivom frekvencijom (VFD) i blokade za hlađenje kako biste izbjegli mehanička preopterećenja tijekom faza grube obrade.
Tipične primjene
Poluvodič i elektronika:Evakuacija i rukovanje procesnim plinom za pomoćne alate za jetkanje, CVD i litografiju koji zahtijevaju nisku kontaminaciju.
Taloženje i premazivanje tankog{0}}filma:Održava stabilan radni tlak tijekom-procesa PVD-a, raspršivanja i optičkog premazivanja.
Istraživački laboratoriji:Visoko{0}}pouzdane vakuumske performanse za fiziku čestica, površinsku znanost i komore za simulaciju svemira.
Vakuumske peći i obrada:Učinkovito podnosi velika plinska opterećenja tijekom-otplinjavanja na visokoj temperaturi, lemljenja pod vakuumom i toplinske obrade.
Kontrola kvalitete i dokumentacija
UHV pouzdanost zahtijeva stroge standarde proizvodnje i provjere:
Obrada čiste sobe:Više{0}}stupanjsko ultrazvučno čišćenje, odmašćivanje otapalom i pakiranje-bez prašine kako bi se osiguralo nisko ispuštanje plinova.
Ispitivanje preciznosti:Dinamičko balansiranje rotora, provjera dimenzija i ispitivanje propuštanja helija spektrometrom mase.
Isporučivi dokumenti:Model-specifične krivulje brzine pumpanja, CAD/STEP nacrti, električne specifikacije motora, certifikati materijala i izvješća o ispitivanju curenja.
FAQ
P: Koja je primarna funkcija mehaničke pumpe za povišenje tlaka ultra visokog vakuuma?
O: Ultravisoka vakuumska mehanička pumpa za povišenje tlaka povećava efektivnu brzinu pumpanja i protok plina u nisko{0}}tlačnim vakuumskim sustavima. Prenosi plin iz vakuumske komore prema pomoćnoj pumpi, omogućujući brzu evakuaciju i veći krajnji tlak.
P: Može li Roots mehanička pumpa za povišenje tlaka raditi samostalno bez pomoćne pumpe?
O: Ne. Mehanička pumpa za povišenje tlaka zahtijeva odgovarajuću pomoćnu pumpu (kao što je suha pumpa ili pumpa s rotirajućim krilcima) za ispuštanje plina do atmosferskog tlaka.
P: Zašto bih trebao izbjegavati odabir pumpe za povišenje tlaka samo na temelju nominalne brzine pumpanja?
O: Nominalna brzina pumpanja predstavlja idealan pomak bez uračunavanja gubitaka-stvarnog sustava. Stvarna izvedba ovisi o vodljivosti-vakuumske linije, kapacitetu pomoćne pumpe, radnom tlaku i opterećenju komore plinom.
P: Kako mogu spriječiti toplinsko preopterećenje tijekom rada pumpe za povišenje tlaka?
O: Toplinsko preopterećenje je spriječeno održavanjem radnog tlaka unutar dopuštene diferencijalne granice (Delta P max). Upotreba ventila za smanjenje tlaka, pogona s promjenjivom frekvencijom (VFD) ili tlačne sklopke za kontrolu pokretanja-pojačivača štiti crpku od prekomjernog opterećenja plinom.
P: Koje se UHV mjere predostrožnosti za čistoću poduzimaju tijekom proizvodnje?
O: Za UHV uslugu, vakuum{0}}komponente se podvrgavaju posebnim procesima čišćenja, kao što je ultrazvučno odmašćivanje, kako bi se uklonili ostaci ugljikovodika.
Popularni tagovi: mehanička pumpa za povišenje tlaka ultra visokog vakuuma, Kina mehanička pumpa za povišenje tlaka ultra visokog vakuuma proizvođači, dobavljači, tvornica
