Pregled primjene različitih tehnologija vakuumskog procesa u različitim stanjima vakuuma
Grubi vakuum (105 ~103Pa760~10Torr) Pregled primjene:
1. Vakuumsko usisavanje i transport čvrstih tvari, tekućina, koloida i čestica;
2. Vakuumska vakuumska oprema za podizanje i vakuumska medicinska oprema;
3. Vakuumsko oblikovanje, repliciranje reljefa;
4. Vakuumska filtracija;
5. Vakuumska impregnacija.
Niski vakuum (103~10-1Pa10~10-3Torr) Pregled primjene:
1. Vakuumsko taljenje, otplinjavanje, lijevanje i toplinska obrada željeznih metala
2. Vakuumsko vruće valjanje i vakuumsko površinsko kromiranje;
3. Vakuumska izolacija i vakuumska toplinska izolacija;
4. Vakuumska destilacija lijekova, ulja i polimernih spojeva;
5. Vakuumsko zamrzavanje i vakuumsko sušenje;
6. Vakuumsko pakiranje i pakiranje na vakumiranje;
7. Aerodinamički tunel niskog tlaka u aerodinamičkim eksperimentima velikih brzina
visoki vakuum (10-1~10-6Pa10-3~10-8Torr) Pregled primjene:
1. Vakuumsko taljenje i rafiniranje rijetkih metala, ultra čistih metala i legura te poluvodičkih materijala; Vakuum redukcijska metalurgija uobičajenih konstrukcijskih materijala;
2. Rafiniranje čistih metala vakuumskom destilacijom; Isparavanje radioaktivnog izotopa;
3. Vakuumsko sinteriranje vatrostalnih metala;
4. Pročišćavanje vakuumomi kristalna priprema poluvodičkih materijala;
5. Proizvodnja visokotemperaturnih metalografskih mikroskopa i eksperimentalne opreme od visokotemperaturnih materijala;
6. Modifikacija površine kao što jevakuumski premaz, ionska implantacija i jetkanje membrane;
7. Proizvodnja elektrooptičkih cijevi, ionskih cijevi, cijevi izvora elektrona, cijevi elektronskog snopa, elektronskih difraktometara, elektronskih mikroskopa, rendgenskih mikroskopa, raznih akceleratora čestica, energetskih spektrometara, spektrometara nuklearnog zračenja, neutronskih cijevi i plinskih lasera u električna vakuumska industrija;
8. Otplinjavanje elektronskim snopom, zavarivanje elektronskim snopom, zonsko taljenje, dodavanje elektronskog snopa
Ultravisoki vakuum (10-1~10-6Pa10-1~10-8Torr) Pregled primjene:
1. Istraživanje kontrolirane termonuklearne fuzije;
2. Izrada vremenskog referentnog vodikovog molekularnog zrcala;
3 . Istraživanje površinske fizike i površinske kemije;
4. Simulacija svemirskog okruženja u svemiru;
5. Rad velikih sinkronih protonskih akceleratora;
6. Izrada elektromagnetskog ovjesa visokopreciznog žiroskopa.
